同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多，因为极紫外光刻机的光子能量非常高，几乎所有的材料都会吸收极紫外光。
而吸收了极紫外光必然会发热，发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说，简直就是灾难，基本就无法使用了。
如果不加控制，光路系统还有被烧毁的风险。
所以极紫外光刻机里，光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置，把极紫外光照射产生的热量及时带走。
最后，光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的，但设备的生产是不可能做到完美的，镜头使用的材料不可能做到完美。
镜头打磨不可能做到完美，镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。
这些问题都会给最终成像效果带来误差，而且很多成像误差是不断变化的。
必须通过一系列办法进行校准和修正，甚至要求通过软硬件结合的自动化控制来实现实时成像补偿，这才是真正的难点。
还需要大量精密控制装置的支持专利。不仅实现起来非常困难，还要面临大量的专利陷阱。
这光刻机，本来就是十几个发达国家，联合研制出来的一个产品，涉及到的行业之广，设计到的仪器之顶尖，都是咱们暂时达不到的。
只能说咱们开局太晚了啊！综合那么多高端的精密仪器，我们搞不来……”
陈小川听了之后点点头，众人也是听的云里雾里，但是最终还是知道一个结论，
这光刻机，不好造！
但是陈小川又说：
“李院士说得对，也是说的很全面。这的确是我们的一个不足之处，不，这是我们的很多不足之处。
我们没有那么多高端的仪器制造，没有那么精密的仪器，设备，甚至在光学上，我们也比不过卡尔蔡司。
但是咱们华夏人最不缺的就是创新精神，难道说咱们这芯片制造只能依靠光刻机吗？
没了张屠夫，咱们就要吃带毛猪？不，不可能，一定有其他的替代方案。
光刻机的复杂和精密以及小型化是他的一大优点，但是我觉得这也正是他们光刻机的一个缺点。
正是因为他们要把光刻机当做一个商品售卖，所以他们不得不做的精细，做的方便运输，所以一定要适合运输，只能做那么大一点儿～”
听了这个回答，李院士也是点点头，然后李院士说：
“是的，小川说的对，光刻机可以说是工业上的一颗明珠，是高端科技的集大成者！！
但是荷兰生产的光刻机基本上是外贸型的光刻机，产品不是送到鹰酱，就是送到湾湾那边。
所以在体积上做的不是很大，毕竟要通过海运从荷兰运到别处。
但是送到我们这里的光刻机，都不是最新一代的光刻机，都要比最新一代落后一代或者两代才行，这就是为了让华夏的芯片产业，永远落后于鹰酱等西方国家。
这可以说是一个阳谋，但是我们之前没法破解，因为我们没有光刻机的核心技术。”
陈小川听了也是点点头：
“李院士说的对啊！
但是我这里要说的是，小，虽然是光刻机的一大特点，但这也是他的悲哀之处！
这同时也是一个没有广袤国土，没有巨大的人口规模，没有巨大的消费市场的国家的悲哀！
他们没有那么大的市场来承担光刻机大型化，甚至巨型化带来的后果，但是我们能啊！”
“我们拥有广袤无垠的国土面积，拥有巨大的人口基数，拥有全世界消费潜力最大的市场！这就让这种光刻机巨型化有了用武之地啊！
难道这种先进技术也要出口吗？根本用不着！”
“所以，我们要制造芯片，就要符合我们的国情！！
我们没有超高精密仪器，难道就不能粗糙一点？
我们没有制造那么小的光刻机的能力的话，那么我们做一个光刻厂呢？
把光刻机的小型激光辐射，变成巨大的光源辐射，我们也应该能够做到吧！
嘿嘿！”
“光刻厂？？”
“光刻厂？”
“那得是费老鼻子电了吧！？光刻机一天都是几万度电啊……”
“是啊，光刻机这一块儿就挺费电的了……”
一些院士忍不住说出光刻厂的缺点之一——费电！
陈小川却是嘿嘿一笑：
“嘿嘿，李院士，您忘了咱们这两年建造的光伏电厂了吗？咱们的电多啊，便宜啊！
您家里电费怕是便宜了一半不止了吧啊。
上边正愁咱们这电用不完咋办，这不，这耗电大户这不就来了吗？
这光刻厂一建成，那相应的其他配套产业链也该扩建了吧！嘿嘿，这得用多少电啊，那不得一年几千亿度电？
可是咱们今年预估的发电量就是十二万亿度电，这点儿还不够塞牙缝儿呢！”
“哪怕光刻厂一天用一千万度电，那也才几百万的成本不是？谁家电力有咱们便宜？”
各位院士听了若有所思，这个巨型化方案，好像也不是不能行！
陈小川又是一剂猛药下去
啪的一声
“各位看一看这篇还没有发表的论文：《稳态微聚束加速器光源》，看看这个理论可以吗？”
说完之后，全场十几台华威电脑屏幕上就出现了这篇论文，院士们也是抓紧看了起来，这东西不得了啊！
在大佬们都在看论文的时候，陈小川还在叭叭叭的说：
“我将光刻厂理解为，力大飞砖，大炮打蚊子！！
其他的不管，只要能够造出来芯片，那就是好厂子………”
鸦雀无声～～～
因为在论文发出后，现场根本就没有人鸟陈小川，都在聚精会神的看论文，看一下可行性大不大，谁还有空听他吹牛啊！
只留下陈小川和余成栋尴尬的对视，余成栋抖抖肩膀，怪我咯？
一时间房间里发出各种惊讶的声音
“还能这样！？”
“哦！原来是这样？”
“嗯，这个思路也蛮不错！”
“唉，这个可以啊！”
“这个思路还行啊～～”
“简直是石破天惊啊～～这设计简直太巧妙了！”
～～～～
三个小时后，众人讨论出一个惊讶的结果！
这个光刻机巨型化的方案可行！
也就是说，陈小川所谓的力大飞砖，大炮打蚊子的论断没有错！
这就像啥？就像啥来着？
众人脑子里猛然间想起一个伟大的人的伟大理论：工程控制论！
哪怕是用不稳定的零部件，也可以制造可靠的系统。
不求单项技术的先进性，只求总体技术的合理性，充分利用仅有资源，以总体设计，负责对各个分系统的技术协调，提升改造现有的工业技术！
这光刻厂设想，就是工程控制论的再现！
这真是一个天才的设想！